Introduction to microelectronic fabrication . - 2a edición - Sistema de Solicitudes - Universidad San Buenaventura

Título

Introduction to microelectronic fabrication . - 2a ediciónLibros / Impreso - Libros

Autor(es)

Jaeger, Richard C. (Autor)

Publicación

New Jersey : Prentice Hall Upper Saddle River, 2002

Descripción Física

316 páginas; ilustraciones

Idioma

Inglés;

Series

Modular Series on Solid State Devices; V.5

ISBN

9780201444940

Clasificación(es)

621.3815

Materia(s)

Circuítos integrados - integración de gran escala; Circuítos integrados - diseño y construcción - congresos;

Nota(s)

Contenido. Chapter 1. An overview of microelectronic fabrication. p.1.-- Chapter 2. Lithography. p.17.-- Chapter 3. Thermal oxidation of silicon. p.43.-- Chapter 4. Diffusion. p.67.-- Chapter 5. Ion implantation. p.109.-- Chapter 6. Film deposition. p.129.-- Chapter 7. Interconnections and contacts. p.151.-- Chapter 8. Packaging and yield. p.177.-- Chapter 9. Mos process integration. p.201.-- Chapter 10. Bipolar process integration. p.233.-- Chapter 11. Processes for microelectromechanical systems: mems. p.269.

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Disponibilidad

CodBarras	Localización	Ubicación Habitual	Signatura	Estado	Categoría	Solicitar

0000074460	Universidad de San Buenaventura - Sede Bogotá	Colección Depósito	621.3815 / J22iIa2 V.5	Disponible	General