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Título Artículo Inductores integrados: perspectiva MEMS. Técnicas MEMS (y II)Artículo de Revista
Parte de Mundo Electrónico
N.353-356 (May-Sep.2004)
Pagina(s) 44-49
Autor(es) Quero, J.M. (Autor)
Idioma Español;
Resumen En la primera parte de este artículo se estudiaron los métodos convencionales de integración de inductores de RF. Se justificó el límite de sus prestaciones en tecnologías como la CMOS estándar o la SOI y se analizaron otras alternativas como los inductores activos y los híbridos. Esta segunda parte se dedica a las técnicas de integración MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) y se describen algunos ejemplos representativos.
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